Recentment, les empreses de ciències i tecnologies de materials domèstics han desenvolupat amb èxit un nou tipus de material ceràmic de carbur de silici amb puresa fins al 99,999%, i aquest avenç millorarà significativament el rendiment i la fiabilitat dels equips de fabricació de semiconductors. Amb els nodes del procés de semiconductors que continuen reduint -se, la puresa de les parts clau i els requisits de material són cada cop més estrictes; Aquest avenç tecnològic per a l’actualització d’equips semiconductors domèstics proporciona un important suport material.
Destaquen els aspectes tècnics:
1.RotrA-High Purity Control: el contingut de la impuresa metàl·lica es controla fins a sota de 0,1 ppm mitjançant el procés innovador de deposició de fase de vapor i la tecnologia de purificació, complint els requisits de 7nm i per sota del procés.
2. Rendiment tèrmic Excellent: rendiment estable a 1000 graus amb conductivitat tèrmica de 270W/MK.
3. Resistència a la corrosió excel·lent: resistent a àcids forts, bases fortes i ambients corrosius plasmàtics.
Avantatges de l'aplicació d'equips semiconductors:
1. Equipament de la categoria: s'utilitza com a material de folre de cavitat per reduir la contaminació de metalls i millorar la uniformitat de gravat
2. Creixement epitaxial: utilitzat com a safates i bases per assegurar la qualitat de la capa epitaxial.
3.ION IMPLANTACIÓ: substitueix els components tradicionals de quars i estén els intervals de manteniment dels equips.
Un expert de CeramicStimes va dir: "La fabricació de semiconductors s'està avançant cap a nodes de procés més fins i la ceràmica de carbur de silici d'alta puresa es convertirà en un material clau per als equips de nova generació. Aquest avenç reduirà efectivament la dependència de la Xina dels materials importats per a equips semiconductors".
Actualment, el material ha aprovat les proves de verificació dels principals fabricants d’equips semiconductors domèstics i s’espera que la producció massiva aconsegueixi el quart trimestre de 2024. Amb el ràpid desenvolupament de tecnologies emergents com 5G i intel·ligència artificial, la demanda del mercat per a ceràmiques de carbur de silici d’alta puresa continuarà creixent i s’espera que per 2026 la mida del mercat global superi els 5.000 milions de iuan.
Dinàmica empresarial:
CeramicTimes va invertir 500 milions de iuan per construir una línia de producció especial, la finalització de la capacitat de producció anual del projecte de fins a 200.000 peces, satisferà efectivament les necessitats dels fabricants d'equips semiconductors domèstics. Al mateix temps, l'empresa treballa amb diversos instituts de recerca per optimitzar encara més les propietats del material, per desenvolupar més solucions de peces especials d'equips de semiconductors.
Aquest avenç tecnològic no només omple el blanc de la ceràmica de carbur de silici d’alta puresa domèstica, el control més independent dels equips semiconductors de la Xina proporciona una garantia material important, promourà fortament el procés de localització de la cadena de la indústria semiconductors.
