Descripció dels productes
Els anells de deposició de ceràmica d'alúmina serveixen com a components consumibles crítics a les cambres de reacció dels dispositius bàsics d'equips de deposició de vapor químic (CVD) i de deposició de vapor físic (PVD)-en la fabricació de xips de semiconductors. La selecció de materials i les exigències d'aplicació són excepcionalment estrictes. Normalment s'instal·len al voltant de suports d'hòsties (mandrils electrostàtics), formen part de l'espai de reacció del procés. En l'entorn exigent de fabricació de semiconductors, la funció principal de l'anell de deposició és protegir els components bàsics cars (com ara els mandrils electrostàtics) de la contaminació i la deposició de subproductes del procés, garantir la uniformitat del procés i mantenir la neteja i l'estabilitat de la cambra.
Rendiment del producte
- Resistència a la corrosió excepcional: capaç de suportar l'erosió de diversos gasos de plasma corrosius i altament reactius (p. ex., gasos basats en fluor-, clor-) utilitzats en processos CVD/PVD, assegurant una vida útil prolongada.
- Resistència superior a -temperatura alta: manté l'estabilitat estructural i el rendiment a temperatures de procés que arriben a centenars o fins i tot milers de graus centígrads sense deformació ni fusió, demostrant les seves característiques com a ceràmica d'alúmina d'alta-temperatura.
- Alta puresa i baixa contaminació: les ceràmiques d'alúmina d'alta -puresa (p. ex., 99,9 % o més) minimitzen l'alliberament de contaminants com els ions metàl·lics del propi material a la cambra de procés en condicions d'alta-temperatura i plasma, evitant la contaminació de les hòsties. Les aplicacions de grau-semiconductors persegueixen la puresa màxima de la ceràmica d'alúmina al 99,99%.
- Resistència i duresa mecàniques excel·lents: posseeix una rigidesa suficient per mantenir l'estabilitat dimensional alhora que suporta les tensions mecàniques i les forces d'instal·lació. Les propietats mecàniques robustes constitueixen la base de totes les formes-ja siguin plaques de ceràmica d'alúmina, barres de ceràmica d'alúmina (barres d'alúmina) o tubs d'alúmina.
- Aïllament superior: com a material aïllant, la ceràmica d'alúmina no interfereix amb la funció d'adhesió del mandril electrostàtic per a les hòsties, assegurant la seguretat i l'estabilitat del procés.
- Conductivitat tèrmica moderada: ajuda a homogeneïtzar el camp de temperatura dins de la cambra alhora que evita el sobreescalfament. Aquesta és una propietat valorada per als components de dissipació de calor com els substrats ceràmics d'alúmina o les plaques de refrigeració de ceràmica.
- Alta precisió i mecanització: mitjançant tècniques avançades de conformació de ceràmica i mecanitzat de precisió, es poden aconseguir formes complexes amb una precisió dimensional i un acabat superficial excepcionals.
Aplicació del producte
- Matèries primeres: requereixen pols d'alúmina fina, especialment per a ceràmiques d'alúmina d'alta{0}}puresa. L'òxid d'alumini (Al2O3) és la substància química de base.
- Formació i sinterització: implica fabricants de ceràmica d'alúmina que utilitzen tècniques per produir blancs de ceràmica d'alúmina, com ara blocs d'alúmina, plaques d'alúmina (fulles d'alúmina), tubs d'alúmina (tub d'al2o3) i discos d'alúmina.
- Mecanitzat de precisió: realitzat per especialistes en mecanitzat de ceràmica d'alúmina o proveïdors de peces, transformant peces en blanc en components finals com plaques ceràmiques d'alúmina, barres de ceràmica d'alúmina o peces estructurals de ceràmica d'alúmina complexa.
- Altres formes i aplicacions: més enllà dels anells de deposició, les ceràmiques d'alúmina tenen diversos usos de semiconductors, com ara substrats ceràmics d'alúmina (substrat al2o3) per a envasos, membranes ceràmiques d'alúmina i tubs de fibra d'alúmina per a l'aïllament.
Certificats i Honors
Els nostres experts tenen 20 anys d'experiència en R+D en el desenvolupament i la fabricació independent de materials ceràmics avançats i ceràmiques de precisió, aconseguint estàndards-de classe mundial. Hem estat reconeguts com una empresa nacional d'alta-tecnologia i som un projecte de talent líder a la ciutat de Shaoxing, coneguda com la "ciutat natal dels estudiosos".
Seguim estrictament el sistema de gestió de qualitat ISO 9001 per garantir la coherència:
- Inspecció 100% de matèries primeres
- Línies de producció avançades-de premsat en calent
- -Proves internes: anàlisi de densitat, duresa i microestructura
- Certificacions de tercers-(SGS, CE, ROHS disponibles a petició)
força de fàbrica
Disposem d'una experiència tècnica avançada en processos de sinterització, conformació, mòlta, mecanitzat CNC, perforació làser, rectificat i polit, que ens permet personalitzar diversos productes ceràmics segons les especificacions del client. Els nostres tallers digitals i fàbriques intel·ligents, equipats amb sistemes de recollida de dades-en temps real, aprofiten els principis de producció ajustada per minimitzar els residus i maximitzar l'eficiència dels recursos. Mitjançant la integració de la tecnologia de mecanitzat CNC, IoT industrial i sistemes de control automatitzats, aconseguim una connectivitat perfecta i un funcionament col·laboratiu entre els equips de producció, maximitzant així l'estalvi de producció.
Etiquetes populars: anells de deposició de ceràmica, fabricants d'anells de deposició de ceràmica, proveïdors, fàbrica
