Inserció de cambra

Descripció dels productes

En el camp d'avantguarda-de la fabricació de semiconductors, les insercions de cambra de ceràmica d'alúmina serveixen com a revestiment i consumibles bàsics per a les cambres de procés crítiques. Amb les seves propietats de material excepcionals, proporcionen un entorn de reacció estable, pur i durador per a processos bàsics com ara el gravat d'encenalls, la deposició de pel·lícula-fina (CVD/PVD) i la implantació d'ions. El seu rendiment afecta directament la precisió del procés, el rendiment de producció i els costos operatius de l'equip.

Rendiment del producte

• Resistència a la corrosió del plasma excepcional: durant els processos de gravat i CVD, les cambres s'omplen amb plasmes d'alta{0}}energia i altament reactius (p. ex., fluor- o clor-). Les ceràmiques d'alúmina d'alta puresa-exhibeixen una inercia química extrema, resistint eficaçment el bombardeig i l'erosió química d'aquests plasmes.
• Puresa excepcional i baixa contaminació: l'alta puresa de la ceràmica d'alúmina del 99,9%-i fins i tot de la ceràmica d'alúmina del 99,99%-assegura l'alliberament mínim d'ions metàl·lics (per exemple, Na, K, Fe) o altres impureses en condicions d'alta-temperatura i plasma.
• Estabilitat a alta -temperatura superior i baixa taxa de desgasificació: les ceràmiques d'alúmina resistents a altes-temperatura-mantenen una estabilitat-a llarg termini a 1600 graus . El seu coeficient d'expansió tèrmica relativament baix provoca una deformació mínima durant els cicles tèrmics repetits.
• Resistència mecànica i rigidesa excepcionals: tot i ser ceràmica, la ceràmica d'alúmina d'alta -puresa presenta una resistència a la flexió i una duresa excepcionals (duresa Mohs 9, només per darrere del diamant). Suporta esforços mecànics i càrregues de muntatge, assegurant la integritat estructural de la cambra.
• Excel·lents propietats d'aïllament: com a aïllant elèctric superior, aïlla eficaçment el plasma de les cavitats metàl·liques, ajudant al control precís de la morfologia i la distribució del plasma.
• Resistència al xoc tèrmic: mitjançant formulacions de materials optimitzades i control microestructural, les modernes ceràmiques estructurals d'alúmina presenten una resistència al xoc tèrmic millorada, cosa que els permet suportar ràpides fluctuacions de temperatura durant el processament i reduir el risc d'esquerdes.

Aplicació del producte

• Protecció de la cambra principal: evita que els subproductes de reacció generats durant el procés (si els materials de pel·lícula i les partícules de subproductes) es dipositin directament a les parets de la cambra permanents i components crítics, costosos i difícils de-de-netejar, allargant significativament la vida útil de l'equip principal i reduint els costos de manteniment.
• Mantenir la neteja del procés: reduir les fonts de partícules dins de la cambra capturant contaminants i subproductes. Quan les superfícies d'inserció s'espesseixen excessivament o estan molt contaminades, es poden substituir directament, restaurant ràpidament la neteja de la cambra i salvaguardant el rendiment del producte.
• Optimitzar el rendiment del procés: determinades insercions (si les plaques de distribució de gas) participen directament en el procés, assegurant una distribució uniforme dels gasos de reacció dins de la cambra. Això garanteix uniformitat en la deposició o gravat pel·lícula.

control de qualitat

Certificats i Honors

força de fàbrica

Els nostres tallers digitals, Intelligent Factory i els sistemes d'adquisició de dades-en temps real aprofiten els principis de fabricació ajustada per minimitzar el malbaratament i maximitzar l'eficiència dels recursos. En incorporar la tecnologia de mecanitzat CNC, la tecnologia d'Internet industrial de les coses (IIoT) i els sistemes de control automatitzats, aconseguim una connectivitat perfecta i un funcionament col·laboratiu entre els equips de producció, maximitzant així l'estalvi de producció.